メムスオプティカルの技術

メムスオプティカルの基幹技術はマイクロ光学系に応用されるグレースケール露光法による自由な三次元形状の形成とそれを生かす光学デザイン、またマイクロマシンシステムの開発に応用されるコームドライブ（串歯型ドライブ）などのデザインと形成技術です。

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